Wir sind die 
Innovation
Leidenschaftlich forschen. Verbindend denken. Zuverlässig handeln.

Hahn-Schickard, Villingen-Schwenningen
Institut für Mikro- und Informationstechnik
Prof. Dr.-Ing. Roland Zengerle
Wilhelm-Schickard-Straße 10
78052 Villingen-Schwenningen

Tel. 07721 / 943-0
info@hahn-schickard.de
www.hahn-schickard.de

High-g Beschleunigungssensor: leistungsstark, klein und kosteng√ľnstig

Im Auftrag eines Kunden aus der Automobilzulieferbranche hat Hanh-Schickard einen leistungsfähigen piezoresistiven Beschleunigungssensor in Rekordzeit entwickelt und bis zur Serienfertigung vorangetrieben.

Im Auftrag eines Kunden aus der Automobilzulieferbranche hat Hahn-Schickard einen leistungsfähigen piezoresistiven Beschleunigungssensor in Rekordzeit entwickelt und bis zur Serienfertigung vorangetrieben.
Gemäß den Kundenanforderungen wurde in Villingen-Schwenningen das Beschleunigungssensorelement entworfen, ausgelegt und simuliert. Parallel hierzu wurde die notwendige piezoresistive Siliziumtechnologie für Beschleunigungssensoren bei Hahn-Schickard zur Serienreife gebracht.

Auf diese Art und Weise konnten innerhalb von nur neun Monaten nach der Beauftragung des Projekts erste funktionstüchtige Exemplare des Beschleunigungssensorelements an den Kunden geliefert werden.

Der Großteil der Prozessschritte zur hochpräzisen und zugleich zuverlässigen Fertigung des Beschleunigungssensorelements wird direkt im Reinraum von Hahn-Schickard in Villingen-Schwenningen realisiert. Einzelne Sub-Prozesse werden an bewährte Technologiepartner vergeben. Das Sensorelement (mit einer Größe von lediglich 4 x 4 mm²) besteht aus einer inertialen Masse, die an Biegebalken mit integrierten Piezowiderständen aufgehängt ist, welche direkt auf dem Chip zu einer Vollbrücke verschaltet sind. Es besteht die Möglichkeit einen On-Chip-Temperatursensor zur Kompensation von Driften zu integrieren.

Mikromechanisches piezoresistives Beschleunigungssensorelement