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IMS CHIPS
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz
Allmandring 30a
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Stencil-Masken

Stencil-Masken als nanometergenaue Druck schablonen für organische Elektronik.

Selbstgemachte Elektronik-Schaltungen aus dem Tintendrucker? Mit Stencilmasken aus Silizium rückt dieser Traum ein Stück näher: Sie ermöglichen die Herstellung rekordverdächtiger Schaltungen mit organischen Dünnfilmtransistoren.

Der organische Dünnfilm-Transistor (OTFT) wird als Basistechnologie für künftige flexible Elektronik-Produkte, wie zum Beispiel flexible Displays, diagnostische Verbände, Funketiketten und intelligente Fahrkarten angesehen. Die OTFT-Fertigungstechnologie unterscheidet sich deutlich von der Mikroelektronikfertigung. Flexible Elektronik wird mit der Rolle-zu-Rolle-Drucktechnologie gefertigt, wie sie auch beim Papierdruckprozess genutzt wird. Durch die von IMS CHIPS gefertigten Stencilmasken aus Silizium wird die Herstellung von OTFT-Schaltkreisen revolutioniert. Eine Kooperation mit dem Max-Planck-Institut für Festkörperforschung in Stuttgart entwickelte damit Verfahren, sehr kleine und genau strukturierte OTFTs bei stets gleichbleibender Qualität herzustellen. IMS CHIPS besitzt die Expertise, um Silizium-Membranmasken für diese hohen Anforder ungen zu entwickeln und herzustellen.

Neuartiger organischer Dünnfilmtransistor mit rekordverdächtigen Eigenschaften

Si-Stencilmaske mit 200 nm Minimalstrukturen