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IMS CHIPS
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz
Allmandring 30a
70569 Stuttgart

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ChipFilm™ Ultrad√ľnne Mikrochips machen Elektronik flexibel

Neue preisgekrönte Herstellungsmethode ermöglicht biegsame ultradünne Mikrochips aus Silizium. An wendungsgebiete sind fl exible Elektronik und dreidimensionale Mikrochip-Stapel.

Die neue Technologie ermöglicht die Herstel-lung ultradünner Chips durch die gezielte Bildung kleiner Hohlräume unter der Ober?äche eines Wafers. Darauf können dann Mikrochips mit üblichen Verfahren gefertigt und als dünner Film abgenommen werden. Es ist gelungen, ein Verfahren zu entwickeln, das mechanisch sehr robuste Chips hervorbringt, die für biegsame Elektronik und gestapelte Chips ideal sind. Die wissenschaftliche Auswertung, gemeinsam mit dem Institut für Physikalische Elektronik der Uni Stuttgart, wurde durch einen Forschungsauftrag des Landes über die Baden-Württemberg-Stiftung unterstützt. Das Bundesministerium für Bildung und Forschung förderte die industrielle Nutzbar-machung im Rahmen des ProMikron-Projektes.Mit der Robert Bosch GmbH wurde zur Weiter-entwicklung der ChipFilm-Technologie eine Kooperation vereinbart. Für die Arbeiten an ultradünnen Mikrochips erhielt Prof. Joachim Burghartz den Landes forschungspreis 2009.

Gebogener Chip im Test

Ultradünner Mikrochip im Vergleich mit einem herkömmlichen Chip