Brennstoffzellen sind eine mögliche Mikroenergiequelle zur autarken Energieversorgung von Mikrosystemen. Sie können kostengünstig und in großen Stückzahlen auf Wafer-Substraten gefertigt werden.
Die Chip-Film Patch (CFP) Technologie ist ein Verfahren zur Herstellung hybrider Systeme in Folie mit integrierten ultradünnen Siliziumchips.
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