Wir sind die 
Innovation
Leidenschaftlich forschen. Verbindend denken. Zuverlässig handeln.

Ansprechpartner

Anke Fellmann
Tel. 07121 51530 842

> E-Mail

06.12.2018

IMS Chips: Neue Steuerung für den Reinraum

Die Sanierung des Reinraums von IMS CHIPS geht in die dritte Runde. Foto: IMS CHIPS

Die Sanierung des Reinraums von IMS CHIPS geht in die dritte Runde. Foto: IMS CHIPS

Seit Anfang der 1980er-Jahre arbeitet das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) an der Forschung und Entwicklung mikroelektronischer Schaltungen und Systeme. Nun hat das innBW-Institut den dritten Sanierungsabschnitt seines Reinraumes in Angriff genommen. Schwerpunkt der Aktivitäten ist die Modernisierung der Steuerung, um die Prozesssicherheit der Fertigungsverfahren zu erhöhen. Das baden-württembergische Wirtschaftsministerium fördert die Fortsetzung der Reinraum-Sanierung mit 1,3 Millionen Euro.

In Reinräumen ist die Konzentration luftgetragener Teilchen besonders gering sowie die Luftfeuchte und Temperatur konstant. Vor allem Halbleiter werden hier gefertigt – die in gewöhnlicher Umgebungsluft befindlichen Partikel würden die Strukturierung der winzigen integrierten Schaltkreise stören. Eine Infrastruktur auf dem neuesten Stand der Technik ist hierfür eine unabdingbare Voraussetzung.

„Mit seiner herausragenden Kompetenz in der Nano- und Mikroelektronik hat das IMS CHIPS ein landesweit einzigartiges Technologieangebot für die Herstellung von intelligenten Mikrochips und -systemen der Zukunft“, betonte Wirtschaftsministerin Nicole Hoffmeister-Kraut. „Weil vor allem die kleinen und mittleren Unternehmen häufig wegen der hohen technologischen Anforderungen keine eigenen Forschungs- und Entwicklungskapazitäten aufbauen können, benötigen sie zuverlässige Partner wie das IMS CHIPS.“

Über IMS CHIPS

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung im Land Baden-Württemberg und betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf den Gebieten Siliziumtechnologie, Nanostrukturierung, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASICs) und Bildsensorik. Das Institut ist Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. Am IMS CHIPS arbeiten rund 100 Mitarbeiter und Gastwissenschaftler in den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Nanostrukturierung.

www.ims-chips.de