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27.03.2014

Mikrochips mit Strukturen im Nanometerbereich

Der neue Elektronenstrahl-Schreiber am IMS. Foto: IMS CHIPS

Der neue Elektronenstrahl-Schreiber am IMS. Foto: IMS CHIPS

Elektronische Schaltungen auf Halbleitersubstraten, auch Mikrochips genannt, sind aus dem modernen Leben nicht mehr wegzudenken. Ob in Computern, Handys oder Kameras – die Winzlinge sind in vielen Geräten zu finden. Noch kleinere, leistungsfähigere, energieeffizientere und preiswertere Mikrochips wollen jetzt das innBW-Mitglied Stuttgarter Institut für Mikroelektronik (IMS CHIPS) und der Unternehmensbereich Semiconductor Manufacturing Technology von ZEISS entwickeln. Für die immer kleineren Strukturen im Nanometerbereich hat das IMS jetzt ein neues Großgerät angeschafft: Einen Elektronenstrahl-Schreiber der neuesten Generation. Finanziert wurde er über einen Forschungsverbund zwischen ZEISS und IMS. Eine finanzielle Unterstützung leistete auch das Land Baden-Württemberg.

Die Stuttgarter Mikroelektronik-Schmiede kann mit dem neuen Gerät Nanostrukturen auftragen, die ein 30-Millionstel-Millimeter groß sind. Ein Vergleich im makroskopischen Maßstab zeigt: Das Gerät könnte auf einer Fläche, die so groß ist wie Baden-Württemberg, eine Struktur mit der Größe einer Münze bei einer Lagegenauigkeit von drei Millimetern generieren.

„Unsere besondere Expertise sind die Nanostrukturierung für verschiedenste Applikationen und die Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips. Mit ZEISS als Partner können wir unsere besonderen technologischen Möglichkeiten in Stuttgart zur Entwicklung industrietauglicher Produkte einsetzen“, erläutert Prof. Dr. Joachim Burghartz, Direktor und Vorstandsvorsitzender von IMS CHIPS. „Mit dem leistungsfähigen Elektronenstrahl-Schreiber können wir hochkomplexe Mikrostrukturen auf einer Vielzahl von Substraten nanometergenau aufbringen.“ Die Kooperationspartner haben sich bisher sehr zufrieden über die bereits erzielten Erfolge und die hohe Präzision gezeigt.

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung im Land Baden-Württemberg und betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf den Gebieten Siliziumtechnologie, Nanostrukturierung, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASICs) und Bildsensorik. Das Institut ist Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. Am IMS CHIPS arbeiten rund 100 Mitarbeiter und Gastwissenschaftler in den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Nanostrukturierung.

www.ims-chips.de